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Transmission Electron Microscope(200kV)
  • 제작사 및 모델 : JEOL(Japan) . JEM-2010

  • 구입년도 : 1998. 7. 9

  • 구입가격 : 736,594,686 원(EDS 포함)

  • 주요 부대품
    1. EDS : OXFORD Ltd.
    2. CCD : GATAN (ORIUIS)

  • 주요 규격
    1) Electron Gun : LaB6 Filament type
    2) Acc. Voltage : 60 ~ 200 KV
    3) Magnification : ×50 ~ ×1.5M
    4) Resolution : 1.43Å
    5) Tilting Angle : ± 30°
    6) Beam Probe Dia :
    - TEM mode : 0.4㎛ ∼ 20nm
    - CBD mode : 25nm ∼ 0.5nm

  • 원리
    고진공하에서 고전압을 필라멘트에 가하면 전자빔이 방출되어지고, 전자빔은 시료를 통과한 후 형광판 위에 2차원의 이미지를 형성한다. 이들 이미지는 투과된 전자빔에 의해 시료와 반응하여 명암을 형성하게 되어 미세구조를 관찰할 수 있게 된다. 또한 이들 전자빔들은 시료와 반응하여 회절현상을 일으키는데, 이들 회절된 회절점들을 점을 분석하면 시료의 결정구조와 방위관계등 여러 가지 시료에 대한 정보를 얻을 수 있다.

  • 용도
    -생물시료의 미세 세포관찰
    -각종재료의 미세조직관찰찰(석출물의 형태 및 크기. 결함의 유무등)
    -고분해능(HR) 이미지관찰 : Lattice Image
    -EDS를 이용한 미세조직의 구성원소 분석
    -결정성재료의 회절패턴 분석에 의한 결정구조 및 상분석
    -분말시료의 입자형태 및 크기 관찰
    -기타 전자빔에 의해 손상을 받지 않고, 전자빔이 투과 가능한 시료에 대한 고배율의 투과 이미지를 관찰할 수 있다.

  • 기타
    - 금속재료등의 미세조직 관찰 및 EDS를 통한 원소의 정성 및 정량분석
    - 기지조직내의 석출물 형태 및 크기관찰 후 석출물의 구성 원소 규명 및 원소의 정량
    - Diffraction Pattern에 의한 시료의 결정구조 및 방위관계 규명
    - 분말시료의 형상, 분포 및 크기관찰
    - 박막재료의 Cross Section 시료제작법에 의한 박막두께 및 미세조직 관찰
    - Carbon Nanotube의 형태 및 크기측정
    - 고 분해능(HR) 이미지관찰 : Lattice Image

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