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Field Emission Electron Probe X-Ray Micro Analyzer (전계방사형 전자현미분석기)
  • 제작사 및 모델 : JEOL(Japan), JXA-8530F

  • 구입년도 : 2015. 12. 16

  • 구입가격 : 714,359,170 원

  • 주요 규격
    - GUN : Field Emission GUN
    - Image Resolution : 3nm secondary electron resolution
    - Detectable Element Range : 5 B to 92 U
    - Detectable Wavelength Range : 0.087 to 9.3nm
    - Nomber of WDS : 5 Ch(10 crystal)
    - Specimen Size : 100×100×50mm
    - Magnification : ×40 ∼ ×300000

  • 원리
    본 장비는 특히 전계방사형 전자현미분석기로서 텅스텐 또는 LaB6 필라멘트 등과 같은 열전자총 대신에 Field Emmission(FE) 전자총 사용하여 점분해 3.0nm의 고분해능으로 고화질의 이미지를 얻을 수 있어 고배율관찰에 폭넓게 이용되고 있는 전계방사형 주사전자현미경의 역할과 함께 전자빔이 시료에 조사될 때 전자빔과 반응하여 발생되는 여러 신호중 특성X선을 검출하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석을 주목적으로 한 장비이다.

    특성 X-Ray을 이용한 성분분석은 두 종류(EDS . WDS)의 분광계를 이용하는데, 이중 EDS는 특성 X-Ray의 에너지값으로 분류하여 빠른 시간 내에 구성성분의 종류와 함량을 분석할 수 있으며, WDS는 특성 X-Ray의 파장값으로 분류하여 성분에 대한 보다 정확한 정성 및 정량분석을 할 수 있다. 특히 WDS분석시 표준시료를 활용하여 미지시료와 비교하여 보다 정확한 함량을 분석할 수 있다.

  • 용도
    높은 분석분해능 및 분석의 정확성과 낮은 측정 하한치 등의 장점을 가지 고 있으며, 분석시간이 타 분석법에 비하여 상당히 짧고 재료에 손상을 주지 않는 비파괴 분석법이라는 장점을 가지고 있다.
    - 운석 및 광물등의 감정
    - 암석형성의 지온 및 지압에 대한 연구
    - 각종재료(세라믹.금속.반도체.전자재료등)의 정성 및 정량분석에 응 용에 이용되어 진다.
    - 금속등 각종 재료의 국소부위 정성 및 정량분석
    - Carbon등 경원소와 EDS분석으로 잘 분리되지 않는 원소의 정성 및 정량분석
    - 금속 접합부, 금속 표면처리에 따른 각 원소의 확산 및 분포정도 분석
    - 시료 표면부의 각 원소에 대한 면 분석 및 선 분석
    - 광물학에서의 광물의 화학조성 및 정량분석과 정량분석을 통한 누대구조. 용리구조. 불균일성 등의 분석
    - 암석학 분야, 광상학 분야, 보석학 분야등이 가장 많이 활용되어 진다
    - 기타 전처리 작업과 WDS분석이 가능한 미지의 시료에 대한 정성 및 정량분석이 가능하다.


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