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Field Emission Scanning Electron Microscopee (전계 방사형 주사전자현미경)
  • 제작사 및 모델 : JEOL(Japan) . JSM-6700F

  • 구입년도 : 2005. 5. 4

  • 구입가격 : 317,031,390 원 (EDS포함)

  • 주요 부대품
    EDS : OXFORD Ltd.

  • 주요 규격
    1. Electron Gun : Conical Electrode FEG (Cold Type)
    2. Accelerating Voltage : 0.5 ~30 KV
    3. Resolution : 1.0 nm
    4. Magnification : ×100 ~ ×600K
    5. EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer)부착

  • 원리
    고 진공 하에서 고전압을 필라멘트에 가하면 열 전자빔이 방출되어지고, 이 열 전자빔이 도전성을 가진 시료표면에 입사된 후 전자빔은 그 에너지의 대부분은 열 발생으로 잃게 되고, 나머지 전자는 시료의 구성원자를 여기 또는 전리시키고, 일부는 산란되어 시료에서 밖으로 나오게 된다. 이때 여러가지 정보를 가진 신호을 방출하게 된다. 이들 신호 중 2차 전자를 포집하여 광증폭기를 통해 CRT에 나타난 이미지를 관찰한다. 또한 특성X선을 방출하는데 , 이 특성X선의 에너지 값을 분류하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석을 가능 하게 한다. 주사전자현미경은 광학현미경에서 이용되어지는 가시광선보다 극히 짧은 파장을 가지는 전자을 광원으로 이용하기 때문에 해상력이 극히 우수하고 초점심도가 깊어 초미세 표면구조를 입체감 있게 관찰할 수 있는 장비이다.

  • 용도
    -동. 식물성 플랑크톤 등의 형태. 크기 및 표면구조 관찰
    -재료의 미세 표면 관찰
    -각종재료 등의 파단면 및 결함부위 관찰
    -나노시료의 입자형태 및 크기 관찰
    -EDS를 이용한 미세표면의 구성 원소의 정성 및 정량분석

  • 기타
    - 균주. 각종 동식물 플랑크톤등 형태. 크기 및 표면입체 구조관찰
    - 금속재료 등의 표면. 미세 조직 및 파단면 등의 입체구조 관찰
    - 기지조직 및 석출물 형태 및 크기관찰
    - EDS를 통한 석출물 및 기지조직의 구성원소 규명 및 원소정량
    - 안료. 회분과 같은 분말시료의 형상, 분포 및 크기관찰
    - 고무제품 등의 입체구조 및 기공의 크기. 분포 및 형태의 관찰
    - 특히 고 분해능(고배율) 이미지 관찰이 가능하다.

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