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Low Vacuum Scanning Electron Mircroscope & C.L (저진공 주사 전자 현미경 )
  • 제작사 및 모델 : JEOL & GATAN(JAPAN & U.K) . JSM-6490LV & MONO CL3+

  • 구입년도 : 2007. 8. 3

  • 구입가격 : 95,610,000 원 + 165,500,620 원

  • 주요 부대품
    Catholuminescence System : GATAN (MONO CL 3+)

  • 주요 규격
    Microscope
    1. Resolution . High vacuum mode : 3.0nm
                         . Low vacuum mode : 4.0nm
    2. Stage drive : Computer controlled 5-axis (X, Y, Z, T and R) motor

    Catholuminescence System
    1. lection and transmission : Retractable mirror (75mm) & LED sensor
    2. Dispersion
    - Monochrometer type : Czerny Turner
    - Focal length : 300mm
    - Dispersion: 1.8x1,800/ ruling density, nm/mm
    - Min step size:Grating dependent,0.5nm typical
    -Spectral resolution : Grating dependant, 0.1nm
    - Wavelength linearity : 0.2nm over 500nm
    3. High sensitivity Photomultiplier tube ( range 165nm~930nm)

  • 원리
    일반적인 주사전자현미경은 상당히 높은 진공도가 요구되고 있으며, 기준미달의 진공도일 때는 전자가 발생하지 않고, 또한 Image역시 좋지 않다. 그리고 식 .생물시료 등과 같은 약간의 물을 가지는 시료는 전처리를 거치지 않고는 관찰이 불가능하다. 상기 장비는 고진공 및 저진공 에서도 Image관찰 관찰이 가능하며, 식. 생물시료등과 같dl 약간의 수분을 가지는 시료도 관찰 가능하며, 특히 금속산화물 및 고분자물질등과 같은 비전도성을 가지는 각종 시료에 대하여서 전도성코팅을 하지않고 이미지를 관찰할 수 있는 장점을 가진다. 따라서 코팅에 의해 분석 오차가 많이 발생하는 Catholuminescence System등과 같은 장비을 장착하여 많은 응용이 가능한 장비이다.

  • 용도
    -의. 생물시료의 미세 표면 관찰
    -동.식물성 플랑크톤 등의 형태 및 크기 관찰
    -비 생물재료의 미세 표면 관찰
    -비 생물재료 등의 파단면 및 결함부위 관찰
    -암석학 및 보석학 등에 활용
    -특정 파장을 가지는 형광체분석 등

  • 기타
    Catholuminescence System은 전자빔의 입자성과 파동성을 이용한 특이한 분석력을 가진 system이다. 시료 Chamber내부에서 Sample이 전자빔과 반응하여 발생하는 미세한 광자들을 Light Guide를 통하여 집약 시키고, Spectrometer를 통하여 각 파장대의 Image와 Spectrum 을 얻는데 사용된다. 이 정보는 일반 SEM에서 SE detector나 BSE detector를 통하여 볼 수 없는 정보를 제공하여 주고 결정상의 결함이나 결정 성장에 대한 정보도 알 수 있어 결점 분석 및 다양한 application을 적용하는 장비이다.

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