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Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectrometer(각도변환 X선 광전자 분광기, AR-XPS)
  • 제작사 및 모델 : KRATOS Analytical Ltd. (SHIMADZU Group U,K), AXIS SUPRA

  • 기기 원리
    X선을 고체 표면에 조사하면 광전효과에 의해 전자(광전자)가 방출된 광전자의 운동 energy는 원자와의 결합energy는 원소에 특유한 것이기 때문에 광전자의 운동 energy의 측정으로부터 결합 energy를 구해서 원소 함량과 원소의 화학 결합 상태, 상태분석 및 박막의 Ar ion sputtering에 의해서 표면의 원자를 조금씩 박리하면서 측정하여 각도 변환에 따른 다층 박막의 깊이 방향 분석

  • 규 격
    ① Electron analyser with Lens system (Spherical sector analyzer)
    ② Automated Monochromated X-ray source : Rowland circle : 500mm
    ③ High performance x-ray source (15KV Al/Ag twin anode)
    ④ Gas Cluster ion source : 500eV ∼ 8KeV
    ⑤ Sample manipulator : Automated five axis manipulator system
    ⑥ UHV Analysis chamber (100% mu-metal)
    ⑦ Data system software
  • 용 도
    ① 분말, 박막의 전도성, 비전도성 표면의 원소 함량 및 상태 분석
    ② 박막의 깊이방향 분석
    ③ 비철금속 표면의 조성 및 상태 분석

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