+ Home > 분석실안내 > 용당 전자현미경실/XRD실 > 기기안내
Scanning Electron Microscope (주사전자현미경)
  • 제작사 및 모델 : HITACHI(Japan) . S-2700

  • 원리 및 주요성능
    고 진공 하에서 고전압을 필라멘트에 가하면 열 전자빔이 방출되어지고, 이 열 전자빔이 도전성을 가진 시료표면에 입사된 후 전자빔은 그 에너지의 대부분은 열 발생으로 잃게되지만 나머지 10%정도는 시료의 구성원자를 여기 또는 전리시키고, 일부는 산란되어 시료에서 밖으로 나오게 된다. 이때 여러 가지 정보를 가진 신호을 방출하는데, 이들 중 2차 전자를 이용하여 광증폭기를 통해 CRT에 이미지를 형성한다.또한 이들 신호중 특성X선을 방출하는데 , 이 특성X선의 에너지 값을 분류하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석을 가능 하게 한다. 주사전자현미경은 광학현미경에서 이용되어지는 가시광선보다 극히 짧은 파장을 가지는 전자을 광원으로 이용하기 때문에 해상력이 극히 우수하고 초점심도가 깊어 초미세 표면구조를 입체감 있게 관찰할 수 있는 장비이다.

  • 주요성능
    1) Electron Gun : Tungsten Filament type
    2) Accelerating Voltage : 0.2 ~ 30 KV
    3) Resolution : 4.0 nm
    4) Magnification : ×25 ~ ×200K
    5) EDS(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer)부착 : HORIBA

  • 용도
    - 의. 생물시료의 미세 표면 관찰
    - 동. 식물성 플랑크톤 등의 형태 및 크기 관찰
    - 비 생물재료의 미세 표면 관찰
    - 비 생물재료 등의 파단면 및 결함부위 관찰
    - 분말시료의 입자형태 및 크기 관찰
    - EDS를 이용한 미세표면의 구성원소 분석


상호 : 부경대학교 공동실험실습관 고유번호 : 617-83-03093 대표 : 안동현
대연캠퍼스 : 부산광역시 남구 용소로 45 대연캠퍼스 (우:48513) / Tel. (051) 629-6891,6882 / Fax. (051) 629-6899
용당캠퍼스 : 부산광역시 남구 신선로 365 용당캠퍼스 (우:48547) / Tel. (051) 629-5287 / Fax. (051) 629-5296
All Contents Copyright ⓒ 부경대학교 공동실험실습관                                                                                                                 
AMB