Hall Effect Measurement System (홀효과 측정장치)
  • 제작사 및 모델 :ECOPIA(KOREA), HMS-3000

  • 구입연도 : 2009년 1월 5일

  • 원리 및 주요성능 :
    홀 효과는, 전류가 흐르고 있는 곳에, 전류에 수직으로 자장을 걸면, 전류와 자장 모두에게 직교하는 방향으로 기전력이 나타나는 현상이다. 주로 반도체 소자로 응용된다. p형 또는 n형 반도체 시료에서, x방향으로 전류를 흘려, y방향으로 자장을 건다. 이때 시료를 흐르고 있는 캐리어는 자기장에 의한 로렌츠 힘을 받아 z방향으로 움직인다. 이에 따라 전류와 자장 모두에 직교하는 방향으로 홀 전압이 나타난다. 이것이 홀효과이다. 홀 소자 등에 의한 자장의 검출에 이용되는 외에도 반도체의 전기적특성의 측정 등에도 응용된다. 홀 전압이 캐리어밀도의 역수에 비례하기 때문이다. 따라서, 캐리어밀도가 큰 금속은 홀 전압이 반도체에 비해 미세한 값이 되므로, 이 현상을 이용한 물성측정은 반도체가 중요하다.

    1. 사용자력 : 0.51T
    2. 측정온도 : 300K 또는 77K(Liquid Nitorgen)
    3. Sample Size : 최대 20㎜ × 20㎜
    4. 측정재료 : Si계, SiGe, SiC계, GaAs계, InGaAs계, InP계, GaN계 등 기타 반도체

  • 측정 항목 :
    1. 캐리어의 종류의 판별(Bulk Carrier Concentration)
    2. 캐리어 농도(Sheet Carrier Concentration)
    3. 캐리어 이동도(Mobility)
    4. Hall Coefficient
    5. Bulk Resistivity
    6. Conductivity
    7. Magnetoresistance
    8. Sample저항의 종횡비

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